Co. van het de Automatiseringsmateriaal van Hangzhouqianrong, Ltd.
nadruk op ultrasone toepassing, in vertrouwen om klanten te winnen
| Plaats van herkomst: | China |
|---|---|
| Merknaam: | FUNSONIC |
| Certificering: | CE |
| Modelnummer: | FS620 |
| Min. bestelaantal: | 1 Eenheid |
| Prijs: | Negotation |
| Verpakking Details: | ingepakt door houten geval |
| Betalingscondities: | T/T, Western Union |
| Levering vermogen: | 1000 Eenheid per Maand |
| Productienaam: | Ultrasone precisiespuitmachine | Frequentie: | 60 kHz |
|---|---|---|---|
| Maximaal vermogen: | 1-15W | Maximaal volume van continu sproeien: | 20-1200 ml/h/pcs, schaalbaar |
| Effectieve spuitbreedte: | 2-260 mm/pcs, schaalbaar | Uniformiteit van het sproeien: | ≥ 95% |
| Viskositeit van de oplossing: | ≤ 30cps | Inlaatspanning: | 220V±10%/50-60Hz |
| Markeren: | een ultrageluidslithografie-coatingsysteem,met een lichtbestendige ultrasone-lithografiecoating,met een vermogen van niet meer dan 10 W |
||
Semi-conducteur fotoresistent ultrasoon lithografie coating systeem
Beschrijving:
Ultrasone bespuiting is een eenvoudig, economisch en reproduceerbaar proces voor fotoresist coating in fotolithografie waferverwerking.FUNSONIC's halfgeleider fotoresist ultrasoon lithografie coating systeem gebruikt geavanceerde laagtechnologie om fijn de doorstroming te regelenBij sprayforming met lage snelheid wordt geatomiserd spray gedefinieerd als een nauwkeurig en controleerbaar patroon om overspray te voorkomen en zeer dunne en uniforme lagen te produceren.
FUNSONIC's halfgeleider fotoresistent ultrasoon lithografie coating systeem heeft voordelen in het deponeren van meer uniforme coatings.met name langs de bovenkant van de zijwanden van groeven met een hoge beeldverhouding en V-vormige groevenstructurenDe centrifuge rotatie kan geen uniforme coatings langs de zijkanten deponeren, zonder dat er te veel fotoresist aan de bodem van de holte ophoopt.
Parameters:
| Productsoort |
Ultrasone Precision Spray Coating Machine Laboratorium bureaublad Type FS310 |
Intelligente Ultrasone Precision Coating Machine Desktop Type FS620 |
| Werksfrequentie van het sproeipijp | 20-200 kHz | 20-200KHz (Normaal gebruik 60100110120K) |
| Kracht van het spuitstuk | 1-15W | 1-15W |
| Maximaal volume van het continu sproeien | 0.01-50 ml/min | 0.01-50 ml/min |
| Effectieve spuitbreedte | 2-100 mm | 2-100 mm |
| Uniformiteit van het sproeien | ≥ 95% | ≥ 95% |
| Omrekeningspercentage van de oplossing | ≥ 95% | ≥ 95% |
| Dikte van de droge film | 20 nm-100 μm | 20 nm-100 μm |
| Viscositeit van de oplossing | ≤ 30cps | ≤ 30cps |
| Temperatuurbereik | 1-60°C | 1-60°C |
| Geatomieerde deeltjes (mediane waarde) | 10-45 μm (gedestilleerd water), bepaald door de frequentie van het spuitstuk | 10-45 μm (gedestilleerd water), bepaald door de frequentie van het spuitstuk |
| Maximale afwijkingspanning | ≤ 0,10 MPA | ≤ 0,15 MPA |
| Inlaatspanning | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
| Oefenmodus | X+Y twee-as volledig automatisch, Z-as handmatig instellen | XYZ-drieassig, onafhankelijk programmeerbaar |
| Controlemodus | Microcomputerkaart, 7-inch touchscreen + knoppen | FUNSONIC besturingssysteem voor sproeien, PLC-besturing, 13,3 inch volledig gekleurd touchscreen |
| Controle-inhoud | Ultrasone bespuiting, vloeistofvoorziening, verwarming, ultrasone dispersie en andere systemen | Ultrasone bespuiting, vloeistofvoorziening, verwarming, ultrasone dispersie en andere systemen |
| Vloeistofvoorziening | Precisie-injectiepomp | Precisie-injectiepomp |
| Ultrasone dispersiesysteem (optioneel) | 50 ml, 40K, biologische sampler | 20 ml of 50 ml, 40K, biologische bemonsterer |
| Nominaal vermogen van het ultrasone dispersiesysteem | 200 W, 10 A | 100 W |
Voordelen:
1Eenvormige filmdekking van verschillende oppervlaktecontouren.
2. in staat om grooves met een hoge beeldverhouding met een uitstekende uniformiteit te bedekken.
3- Niet verstoppend sproeiend sproei.
4. in staat om zeer uniforme dunne lagen van één micron te leggen.
5. herhaalbaar volwassen sproeiproces.
Semi-conducteur fotoresistent ultrasoon lithografie coating systeem